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서브 헤더

Microwave & Plasma Technology
for Advanced Semiconductor Processing

암페어머티리얼즈는 마이크로웨이브(Microwave) 플라즈마 기술을 기반으로반도체 공정의 혁신을 선도하고 있습니다.
고효율·고밀도 플라즈마 솔루션을 통해 차세대 반도체 제조 공정의 생산성 향상과공정 비용 절감을 실현합니다.

주요 기술 (Core Technologies)

Microwave Plasma Source

- 대기압에서의 고효율 플라즈마 생성으로 안정성 및 균일도 향상

ECR (Electron Cyclotron Resonance) Source

- 저온·고밀도 플라즈마 제공, 미세 공정에 최적화

반도체 공정용 특수 플라즈마 솔루션

- Etching, Cleaning, Deposition 공정에 맞춤형 제공

Application Fields

반도체 후단 배기 가스 분해
반도체 식각(Etching) 공정
박막 증착(Deposition)
플라즈마 클리닝 (Cleaning)
특수 소재 처리 공정